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台阶轮廓扫描

设备:台阶仪Dektak XT

厂商:美国Bruke

用途:通过该测试,可以得到探针移动路径上样品的表面起伏数据,从而分析出样品的表面粗糙度、翘曲程度等信息。

技术指标:

l  扫描长度: 50µm-55mm 

l  垂直测量范围: 1mm 

l  台阶高度重现性5Å, 1σ 1µm台阶上

l  垂直分辨率:最大6.5µm范围) 

l  探针曲率半径:0.2 um 2um 

样品台尺寸:4英寸,6英寸,8英寸 


  • 地址:广东省东莞市松山湖国家高新区总部一号12栋5楼

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