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外延层载流子浓度测试

设备:汞探针CV浓度测试仪CVmap 92A

厂商:美国Four Dimensions, Inc.(简称4D)

用途:检测SiC/GaN外延层载流子浓度分布

技术指标:

具有不同面积汞接触, -环接触等功能,可测试SiC,GaN等半导体晶片载流子浓度分布


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