首页 > 检测中心 > 功率器件 > 材料 >

膜厚及不均匀性

clip_image001.jpg

设备:膜厚仪F50-XT/ F50-UV

厂商:FILMETRICS

用途:依靠F50的光谱测量系统,可以很简单快速地获得最大直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台,可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度。

技术指标:

l  最大适用4英寸晶圆测试,最大测试范围0-10um

l  测量nk值最小厚度要求:50nm

l  波长范围:190-1100nm

l  准确度:0.2%1nm

l  精度:0.02nm

l  稳定性:0.05nm


  • 地址:广东省东莞市松山湖国家高新区总部一号12栋5楼

  • 电话:0769-33882377

  • 邮箱:nfjc@cwbg-nf.com

  • 传真:0769-23078230

0


备案号:粤ICP备2023038869号

首页
电话
邮件
联系